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基于机器视觉、百度AI与深度学习的晶圆缺陷检测方法研究.docx

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    毕业设计（论文）

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    毕业设计（论文）报告

    题目：

    基于机器视觉、百度AI与深度学习的晶圆缺陷检测方法研究

    学号：

    姓名：

    学院：

    专业：

    指导教师：

    起止日期：

    基于机器视觉、百度AI与深度学习的晶圆缺陷检测方法研究

    摘要：随着半导体产业的快速发展，晶圆制造过程中产生的缺陷检测对产品质量至关重要。本文提出了一种基于机器视觉、百度AI与深度学习的晶圆缺陷检测方法。首先，通过机器视觉技术采集晶圆图像，并利用百度AI的图像识别功能进行初步缺陷分类。然后，采用深度学习算法对晶圆图像进行特征提取和缺陷检测。实验结果表明，该方法具有较高的检

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