超低功耗微型压力传感器的设计思路与性能评估.pdf

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超低功耗微型压力传感器的设计思路与性能评估2

一、引言2

1.研究背景与意义2

2.内外研究现状及发展趋势3

3.本文研究目的和内容概述4

二、超低功耗微型压力传感器设计思路5

1.传感器总体设计方案5

2.微型化技术途径7

3.超低功耗实现策略8

4.传感器关键部件选材与考虑因素9

5.电路设计11

6,软件编程考虑12

三、传感器性能评估方法13

1.性能评估指标确定13

2.实验测试方

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