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准分子激光投影扫描系统赋能大面积ITO与TFT光刻的深度探索

一、引言

1.1研究背景

在现代电子技术飞速发展的浪潮中，平板显示行业已成为信息产业的重要支柱之一，广泛应用于手机、电视、电脑、车载显示等众多领域。随着消费者对显示设备的性能要求不断提高，如更高的分辨率、更大的屏幕尺寸、更低的功耗以及更丰富的色彩表现等，平板显示技术正朝着高精细化和大面积化的方向迅猛发展。

在平板显示器件中，氧化铟锡（ITO）和薄膜晶体管（TFT）是至关重要的组成部分。ITO作为一种具有良好导电性和透明性的材料，被广泛应用于平板显示器的透明导电电极，其光刻精度直接影响到电极的性能和显示效果。而TFT则是平板显