半导体厂务项目工程管理课件：FMCS监子系统逻辑控制.pptx

半导体厂务项目工程管理

FMCS监控子系统逻辑控制

热水系统逻辑控制

热回收机组（蓝色框）

风冷模块热水机组（红色框）

8台风冷模块热水机组作为一组设备，其总热量与单台热回收机组制热量相当，作为备机；两台热回收机组作为两组设备。三组设备均通过电动开关蝶阀控制启用和停用。系统中3台热水泵（绿色框）采用变频泵实现水泵的并联，互相作为备用。

热水系统逻辑控制

那么如何开启热水系统将其投入生产呢？

一般首先打开需要投产机组的热水电动阀，接着开启热水泵，最后开启热回收机组或者风冷模块热水机组。

热水系统逻辑控制

热水系统根据热水主管供回水压差控制水泵的频率。当压差小于设定值时，水泵频率自动增大；当压