半导体厂务项目工程管理课件：GMS系统介绍.pptx

半导体厂务项目工程管理

GMS系统介绍

【相关知识】特气监控及侦测系统（GMS、GDS）

气体监控系统（GMS）主要包含特制品气体设备监控和气体侦测系统（GDS，GasDetectorSytem）。

GMS主要是对气体设备运行状态的实时监控和记录，例如输送压力如何，设备有无异常、警报等。同时GMS具有多种历史查询功能，可反馈记录时间内任一时段的压力曲线、报警记录等。

GDS主要由气体探测器、报警控制器和装有专门软件的计算机组成。报警控制器通过PLC联动控制特气设备气动阀的电磁阀，并发出声光报警。某些GDS的报警控制器还联动相应的风机，一旦特气泄漏除了自动关闭特气设备供气阀门外，还能启动该