半导体厂务项目工程管理课件：大宗气体的介绍.pptx

半导体厂务项目工程管理

大宗气体的介绍

【相关知识】什么是大宗气体

在半导体生产过程中，大宗气体（BulkGases）是指大量使用的气体，它们参与半导体产线几乎全部的生产过程，主要用作环境气、保护气、清洁气和运载气等。

大宗气体的主要种类有压缩干燥空气CDA、氮气N2、氧气O2、氩气Ar、氢气H2、氦气He等。

【相关知识】大宗气体的种类及工艺用途

（1）CDA

CDA是指经过空气压缩机压缩后经干燥压力高于大气压的空气。一般用作厂务系统气动设备如空气泵的气源或者一般冲吹的气体。

【相关知识】大宗气体的种类及工艺用途

（2）氮气

氮气是半导体制造过程中最常用的大宗气体之一。根据氮气纯度的不同