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SEM成像原理及构造

成像原理扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM(ScanningElectronMicroscope)。SEM与电子探针的功能和结构基本相同，但SEM一般不带波谱仪（WDS）。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。所以，SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。

成像原理1.扫描电镜的工作原理及特点扫描电镜放大成像过程与光学显微镜和透射电子显微镜不同，它是在加速电压的作用下，利用电子枪发射电子束通过会聚透镜、物镜光阑和物镜聚焦后在试样表面作光栅状扫描，形成直径约几纳米的电子束。当电子束通过扫描线圈在试样表面扫描时，另一个扫描线圈同步扫描观察图像的显示屏，通过二次电子或者背散射电子探测器收集试样每点的二次电子信号，将二次电子信号同步调制成观察图像的显示屏对应点的亮度。所以，显示屏观察的图像和试样扫描部位是逐点对应的，通过检测电子与试样相互作用产生的信号对试样表面的成分、形貌及结构等进行观察和分析。

成像原理扫描电镜成像示意图

构造2.扫描电镜的主要结构主要包括有电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图象显示和记