高导电铜合金在微纳器件中的可靠性研究.docxVIP

高导电铜合金在微纳器件中的可靠性研究

目录

一、文档简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、高导电材料的特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.1材料导电性能机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.2微观结构对导电性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.3界面接触特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.4材料稳定性的表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

三、微纳器件中的可靠性挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.1纳米尺度下电迁移现象．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.2热膨胀与机械应力分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.3多物理场耦合效应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.4微结构退化机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

四、失效机制研究