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硅片表面检验分析.pdfVIP

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  • 2026-04-16 发布于河北
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硅片表面检验分析.pdf

    硅片表面检验分析

    硅片在聚光灯下目检，要求圆片表面无明显色差、花纹、雾状斑块或色斑；圆片无纹,

    边缘缺损、无沾污；圆片表面无划痕。

    1.无明显色差

    氧化层变化容易产生色差，如图示。

    氧化层100A的厚度变化就会在目检时看到颜色

    的变化，大约厚度变化2000A,颜色就会呈现一个周

    期性的变化。氧化层几十A的厚度变化就会使表面产

    生一点颜色变化，颜色变化严重时，硅片表面会有明显

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