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LIGA技术赋能微结构光学器件：研制、性能与创新应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，微结构光学器件正扮演着愈发关键的角色。随着光通信、光学传感、生物医学成像、激光技术以及先进光刻等领域的飞速发展，对微结构光学器件的需求日益增长且不断向高精度、高性能、小型化和集成化方向迈进。这些微结构光学器件能够实现对光的精确调控，如聚焦、准直、分光、滤波、偏振转换等功能，为现代光学系统的性能提升和功能拓展提供了核心支持。

在光通信领域，波分复用技术依赖于高性能的光学滤波器和波导器件来实现不同波长光信号的复用和解复用，从而大幅提升通信容量；在生物医学成像中，微透镜阵列和高分辨率的光学传感器件