传感器与测试技术--应变式传感器（一）.pptVIP

(a)应变片及轴向受力(b)横向效应应变片轴向受力及横向效应3.1.1电阻应变片（计）的工作原理4.电阻应变片的横向效应分析：应变片的纵向应与测量的形变方向一致圆弧部分产生负的电阻变化，降低了应变片的灵敏度必须采取措施减小横向效应的影响（改进结构等）3.1.2电阻应变片的种类、参数3.1电阻应变式传感器1）线式应变片优点：制作简单，价格便宜，易安装。缺点：横向效应大，测量精度较差，性能分散。1.电阻应变片的种类3.1.2电阻应变片的种类、参数回线式应变片短接式应变片2）箔式应变片敏感栅采用的是合金的金属箔，用刻图制板、光刻及腐蚀等工艺制作，其厚度一般在0.001~0.01mm。1.电阻应变片的种类3.1.2电阻应变片的种类、参数箔式应变片优点

可制成多种复杂形状、尺寸准确的敏感栅，以适应不同的测量要求；横向效应小；散热条件好，允许电流大，提高了输出灵敏度；蠕变和机械滞后小，疲劳寿命长；生产效率高，便于实现自动化生产。1.电阻应变片的种类3.1.2电阻应变片的种类、参数3）薄膜应变片采用真空沉积或离子溅射等方法，在绝缘基片上形成厚度在0.1μm以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅——厚度大约为箔式应变片的十分之一以下。