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离子风机测试操作指南

第一章目的与适用范围

1.1目的

本指南用于规范离子风机在电子制造、半导体封装、精密装配、实验室等静电敏感区域的性能验证流程，确保设备除静电效率、平衡电压、残余电压、臭氧浓度、噪声、风速均匀性六项核心指标持续符合ANSI/ESDSTM3.1、IEC61340-5-1及企业内部《EPA静电防护管理规范》要求。

1.2适用范围

适用于所有新购、季度保养后、移位后、故障修复后的离子风机，覆盖台式、悬挂式、横式、点式、脉冲DC、稳态AC六大品类，不区分品牌型号。

第二章前置条件

2.1人员资质

测试员须持有“静电防护管理员”证书（有效期24个月内），并通过厂内《离子风机测试授权考核》，考核分数≥90分方可独立操作。

2.2环境要求

温度23℃±3℃，相对湿度45%RH–65%RH，背景静电场＜±50V/m，测试区1m内无大型金属移动体，地面铺静电耗散地垫并单点接地。

2.3设备与耗材

1.静电场测试仪：Trek156A或同等精度（±1V，1V/cm分辨率）；

2.充电板监测器（CPM）：Monroe291或同等，有效面积15cm×15cm，电容20pF±2pF；

3.数字万用表：Keysight34401A，六位半；

4.臭氧分析仪：2BTech106-M，量程0–100