纳米技术和纳米加工.pptxVIP

课堂学习目标学习目标13纳米技术概述纳米级测量和扫描探针测量技术纳米级精密加工和原子操纵2

一、电化学加工的基本原理

纳米技术概述纳米技术的特点和重要性纳米技术一般指纳米级0.1~100nm的材料，设计、加工制造、测量、控制和产品的技术。纳米技术是科技发展的一个新兴领域。人类对自然的认识从微米层深入到分子、原子级的纳米层次。在纳米层次上，也就是原子尺寸级别的层次上，量子效应、物质的波动特性和微观涨落等已是不可忽略的，甚至成为主导的因素。

纳米技术概述纳米技术的主要内容纳米技术主要包括：纳米级精度和表面形貌的测量，纳米级表层物理、化学、力学性能的检测，纳米级精度的加工和纳米级表层的加工一原子和分子的去除、搬迁和重组，材料，纳米电子学，纳米级微传感器和控制技术，微型和超微型机械，微型和超微型机电系统和其他综合系统，纳米生物学等。

纳米技术概述纳米技术的主要内容纳米技术的不断发展可能在精密机械工程、材料科学、微电子技术、计算机技术、光学、化工、生物、医学和生命技术以及生态农业等方面产生新的突破。这种前景使得工业先进国家如美国、日本、德国、英国、法国、瑞士、瑞典等，对纳米技术给予了极大的重视，并投入了大量人力、物力进行研究开发，我国也在奋起直追。

纳米级测量和扫描探针测量技术一是光干涉测量技术：利用光的干涉条纹提高测量分辨率。可见光和紫外光的波长较长，干涉条纹间距达数百纳米，不能满足测量精