GB_T 11446.3-2013 中文版 电子级水测试方法 电阻率测定.docxVIP

GB/T11446.3-2013中文版电子级水测试方法电阻率测定

1.范围

本标准由中华人民共和国工业和信息化部主管，由上海计量测试技术研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院等单位联合起草，于2013年发布实施，是GB/T11446《电子级水》系列标准的第3部分，专门规定电子级水电阻率的测定方法，替代原有电子级水电阻率检测的行业规范，统一检测流程、技术要求和精度标准，为电子级水的质量管控提供精准的电阻率检测依据。

本标准规定了电子级水（包括电子级纯水、高纯水）电阻率的测定原理、试剂与材料、仪器设备、试验环境、试验步骤、数据处理、结果判定、质量控制、安全环保及试验报告等全流程内容，明确了不同级别电子级水电阻率测定的精度要求、温度校正方法、干扰控制及检测仪器的技术参数，适用于电子工业生产及相关实验室中电子级水电阻率的日常检测、质量监控和成品验收。

本标准适用于电子级水（包括半导体芯片、电子元器件、集成电路、液晶显示面板等电子工业生产所用电子级纯水、高纯水，以及实验室自制、商业采购的各类电子级水）中电阻率的测定，涵盖电子级水生产过程中的中间检测、成品出厂验收、使用过程中的质量复核等场景，明确测定范围为0.01MΩ·cm~100MΩ·cm（25℃）。

本标准不适用于非电子级水（如分析实验室用水、医用纯水、工业普通纯水）的电阻率测定，不适用于含