GB_T 11446.8-2013 中文版 电子级水测试方法 总有机碳 (TOC) 测定.docxVIP

GB/T11446.8-2013中文版电子级水测试方法总有机碳(TOC)测定

1.范围

本标准由中华人民共和国工业和信息化部主管，由上海计量测试技术研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所等单位起草，于2013年发布实施，是GB/T11446《电子级水》系列标准的第8部分，专门规定电子级水总有机碳（TOC）的测定方法，替代原有相关电子级水TOC检测的行业规范，统一检测流程和技术要求。

本标准规定了电子级水（包括电子级纯水、高纯水）中总有机碳（TOC）含量的测定原理、试剂与材料、仪器设备、试验环境、试验步骤、数据处理、结果判定、质量控制、安全环保及试验报告等全流程内容，明确了不同级别电子级水TOC测定的精度要求、干扰控制及检测方法选择依据，为电子级水的质量管控提供精准、可靠的检测技术支撑。

本标准适用于电子级水（包括半导体、电子元器件、集成电路等电子工业生产及相关实验室所用电子级纯水、高纯水）中总有机碳含量的测定，涵盖电子级水生产过程中的中间检测、成品验收、使用过程中的质量监控等场景，包括实验室自制、商业采购的各类电子级水。

本标准不适用于非电子级水（如分析实验室用水、医用纯水、工业普通纯水）的TOC测定，不适用于含有高浓度干扰物质（如大量还原性无机物、挥发性有机物）的电子级水衍生物的TOC测定；对于超高纯度电子级水（如半导体3nm工艺所用超纯水）的TOC测定，除