GB_T 30306-2013 中文版 电子工业用超纯水系统技术规范.docxVIP

GB/T30306-2013中文版电子工业用超纯水系统技术规范

1.范围

本标准由中华人民共和国国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会联合发布，于2014年2月1日正式实施，是我国电子工业用超纯水系统设计、制造、安装、调试、运行及维护的统一技术标准。本标准规定了电子工业用超纯水系统（以下简称“系统”）的技术要求、设计原则、设备要求、安装调试、运行维护、性能检测及质量控制等全流程内容，明确了系统各组成部分的技术参数、运行指标及验收标准。

本标准适用于电子工业生产过程中，用于半导体、集成电路、液晶显示、光伏器件、电子元器件等产品制造所需超纯水的制备、输送及分配系统，涵盖系统从设计、制造到报废的全生命周期，包括预处理系统、脱盐系统、后处理系统、输送分配系统及辅助系统的各项技术要求。

本标准不适用于核电子工业、航天航空电子器件制造所用超纯水系统，也不适用于电子工业中仅用于清洗辅助、不直接接触核心元器件的普通纯水系统；对于特殊工艺要求（如高纯度、低杂质、特定离子控制）的超纯水系统，除符合本标准规定外，还需满足相关行业专项技术要求。本标准的实施旨在规范电子工业用超纯水系统的技术行为，保障系统运行稳定、可靠，确保产出超纯水水质符合电子工业生产要求，为电子产品质量提升提供技术支撑。

2.引用文件

下列文件对于本标准的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本