华东理工材料研究方法与实验课件05电子显微技术.pptxVIP

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  • 2026-04-23 发布于江苏
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华东理工材料研究方法与实验课件05电子显微技术.pptx

电子显微技术

1.电子光学基础

1.1光学显微镜的分辨率极限(2000)

Rayleigh公式:

n=1.5,sinα≤1,

Δrd≈0.5λ

λ=3900~7600

1.2电子的波长

透射电子显微镜的分辨率可达1

1.3电磁透镜

Ur:经相对论校正的电子加速电压

(IN):电磁透镜的激磁安匝数

电磁透镜的焦距:

2.电子束与物质作用时产生的信号

Effectofbeamenergy

Effectofatomicnumber

背散射电子:入射电子打到样品表面后,

产生弹性或非弹性散射后离开表面的电子

弹性散射电子

非弹性散射电子

散射

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