GaN功率器件晶圆键合设备采购及工艺参数优化项目可行性研究报告.docx

GaN功率器件晶圆键合设备采购及工艺参数优化项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

GaN功率器件晶圆键合设备采购及工艺参数优化项目

建设单位

中科晶能半导体技术（苏州）有限公司于2023年5月在江苏省苏州市工业园区市场监督管理局注册成立，属有限责任公司，注册资本金5000万元人民币。核心经营范围包括半导体设备研发与销售、功率器件制造、集成电路设计、半导体工艺技术服务等，依法经批准的项目经相关部门许可后开展经营活动。

建设性质

技术升级及扩产改造项目

建设地点

江苏省苏州工业园区半导体产业园内，该园区是国内半导体产业集聚度高、配套设施完善的核心区域，周边汇集上下游企业及研发机构