华东理工材料研究方法课件05电子探针显微分析-EDS.pptxVIP

电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电镜相同，只是在

检测器部分使用的是X射线谱仪，专门用来检测X射线的特征波长或特征能量，以此来对微区的化学成分进行分析。常作为附件安装在SEM或TEM镜筒上。

其原理是用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的

特征X射线，分析特征X射线的波长（或特征能量），即可知样品中所含元素的种类（定性分析），分析X射线的强度，

则可知道样品中对应元素含量的多少（(半)定量分析）

电子探针显微分析

原子中原子核的周围绕有电子轨

道，这些轨道由靠近原子核开始可以分为K层、L层、M层、N层。当X射线或电子射线辐射到原子后，譬如电子从K层被激发到原子外层，原子就处于高