华东理工材料研究方法课件03俄歇电子能谱-AESSIMS.pptxVIP

俄歇电子能谱虽然早在1925年(法)P.Auger已经在

Welson云雾室观察到俄歇电子的迹径，并且正确地解释了这种电子的来源，但直到六十年代末在解决了俄歇信号检测和分析问题后，才有可实际用来进行表面分析的俄歇谱仪。七十年代，出现了扫描俄歇，性能不断改

善，成为微区分析的有力工具。

在俄歇电子能谱仪中，一束电子射到样品表面。根据从样品表面发射的俄歇电子的能量，可以确定表面存在什么元素;根据发射俄歇电子的数量，可以确定元素在表面的含量。

俄歇电子能谱

AugerElectronSpectrometry（AES)

俄歇电子：在入射电子激发样品的特征x射线过程

中，如果在原子内层电子能级