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G.BT 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材293.docxVIP

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  • 2026-04-23 发布于河北
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G.BT 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材293.docx

    ICS77.120.10H61

    中华人民共和国国家标准

    GB/T29658—2013

    电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

    High-puritysputteringaluminiumandaluminium

    alloytargetusedinelectronicfilm

    2013-09-06发布2014-05-01实施

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

    中国国家标准化管理委员会发布

    GB/T29658—2013

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