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- 2026-04-25 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120082872A
(43)申请公布日2025.06.03
(21)申请号202510222884.3H01L21/56(2006.01)
C23C16/48(2006.01)
(22)申请日2025.02.27
C23C16/448(2006.01)
(71)申请人华南理工大学
地址510641广东省广州市天河区五山路
申请人中国电力科学研究院有限公司
(72)发明人喻婷婷余佶成黄文扬张宇洋
高欣雯曾繁鹏
(74)专利代理机构北
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