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CN119440122A 一种半导体设备气体输送方法及系统 （江苏大壹半导体科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-25 发布于山西
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CN119440122A 一种半导体设备气体输送方法及系统 （江苏大壹半导体科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119440122A

    (43)申请公布日2025.02.14

    (21)申请号202510045182.2

    (22)申请日2025.01.13

    (71)申请人江苏大壹半导体科技有限公司

    地址215301江苏省苏州市昆山市张浦镇

    振新西路369号楼1层

    (72)发明人周海军张宝军

    (74)专利代理机构北京格式化知识产权代理事务所(普通合伙)16096

    专利代理师杨博涛

    (51)Int.Cl.

    G05D21/00(2006.01)

    F17D1/02(2006.01)

    H01L21/67

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