CN119685802A 一种引发式分子层沉积方法及区域选择性沉积调控方法 (浙江大学).pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.4万字
  • 约 19页
  • 2026-04-26 发布于重庆
  • 举报

CN119685802A 一种引发式分子层沉积方法及区域选择性沉积调控方法 (浙江大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119685802A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510206622.8

(22)申请日2025.02.24

(71)申请人浙江大学

地址310058浙江省杭州市西湖区余杭塘

路866号

(72)发明人赵俊杰黄晓程蔡蓬哲刘德龙

沈沅灏杜伟伟

(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理

有限公司11291

专利代理师刘亚威

(51)Int.Cl.

C23C16/455(2006.01)

C23C16/02(2006.01)

C23C16/04(2006.01)

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档