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硅基InAs量子点激光器：从制作到性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今信息时代，数据的高速传输与处理成为推动各领域发展的关键因素。硅基光电子集成技术应运而生，它将成熟的微电子工艺与优异性能的光电子器件相结合，有望满足数据中心等对低功耗、低成本及高传输速度通信的迫切需求。在硅基光电子集成体系中，光源是极为关键的一环。然而，Si、Ge等IV族材料属于间接带隙半导体，发光效率极低，这使得光源成为限制硅基光电子集成技术发展的主要瓶颈。

InAs量子点材料具有独特的光学和电学性质，基于InAs量子点的激光器在硅基光电子集成中展现出巨大的潜力。硅基InAs量子点激光器不