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半导体原料制备工专项题库
一、单选题(只有一个正确答案)
1.半导体原料制备中,高纯度硅的提纯主要采用哪种方法?
A.化学气相沉积
B.硅烷热分解法
C.区域熔炼法
D.溶解法
答案:C
解析:区域熔炼法是提纯高纯度硅的常用方法,通过局部加热使杂质富集在熔区,从而获得高纯度单晶硅。
2.在半导体材料生产中,用于去除表面氧化物的化学试剂是?
A.硝酸
B.氢氟酸
C.盐酸
D.硫酸
答案:B
解析:氢氟酸能有效去除二氧化硅等氧化物层,常用于硅片表面处理。
3.半导体原料制备过程中,用于控制气体流量的设备是?
A.流量计
B.
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