教育训练真空镀膜.pptx

2026/4/271真空鍍膜設計及應用

2026/4/2721.1簡介現代化的薄膜(Thinfilm)技巧,已發展成許多產品製作的精密技術。應用範圍包含使用極為廣泛之積體電路(IntegratedCircuits)電子構裝(electronicpackaging)、感應器(Sensor)裝置(device)、光學薄膜(Opticalfilms),一如保護或裝飾用之覆膜(Coating),薄膜之程序總共可分為三大類:(1)物理氣象沈積(PhysicalVaporDeposition)(2)化學氣象沈積(ChemicalVaporDeposition)(3)化學方式(Chemicalmethods)

2026/4/2731.2真空系統現代化的沈積(Deposition)技術,需要在一個真空的(Vacuum)環境之下來發生。對許多的技巧而言,最終產品的品質與組成,通