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CN119472192A 一种异形工件多层协同光刻套刻对准系统及方法 （长春理工大学中山研究院）.docxVIP

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  • 2026-04-30 发布于山西
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CN119472192A 一种异形工件多层协同光刻套刻对准系统及方法 （长春理工大学中山研究院）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119472192A

    (43)申请公布日2025.02.18

    (21)申请号202510067089.1

    (22)申请日2025.01.16

    (71)申请人长春理工大学中山研究院

    地址528437广东省中山市火炬开发区会

    展东路16号数码大厦15-17层

    (72)发明人刘梦楠董莉彤胡婧高明燕王作斌刘慧罗杰宋正勋

    梁晓琨

    (74)专利代理机构沈阳一诺君科知识产权代理事务所(普通合伙)21266

    专利代理师王建男

    (51)Int.Cl.

    G03F7/20(200

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