功率器件制造中镓元素固相扩散系数的原位测试与模拟.docxVIP

功率器件制造中镓元素固相扩散系数的原位测试与模拟

目录

文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

镓元素固相扩散理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1固相扩散基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.2镓元素在半导体中的扩散行为．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.3固相扩散系数模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

镓元素固相扩散系数原位测试方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.1原位测试系统搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.2原位测