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- 2026-05-01 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120048726A
(43)申请公布日2025.05.27
(21)申请号202510246594.2
(22)申请日2025.03.04
(71)申请人南昌大学
地址330031江西省南昌市红谷滩区学府
大道999号
(72)发明人廖霞霞柯明杰袁加仁周杨波
(74)专利代理机构南昌朗科知识产权代理事务
所(普通合伙)36134
专利代理师郭毅力郭显文
(51)Int.Cl.
H01L21/02(2006.01)
权利要求书1页说明书3页附图2页
(54)发明名称
一种二维非晶氧化镓薄膜的制备方法
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