CN119758680A 一种边缘曝光机曝光参数实时监测方法及系统 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119758680A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202510253693.3

(22)申请日2025.03.05

(71)申请人苏州汇影光学技术有限公司

地址215000江苏省苏州市高新区通安镇

真北路88号7号厂房西侧一半的1-2楼

(72)发明人李治显谢晓凯万佳刘霞

(74)专利代理机构郑州银河专利代理有限公司

41158

专利代理师黄洪涛

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图1页

(54)发明名称

一种边缘曝光机曝光参