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蒸镀设备等离子体源生产项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

蒸镀设备等离子体源生产项目

建设单位

苏州星途半导体设备有限公司于2023年5月20日在江苏省苏州市工业园区市场监督管理局注册成立，属于有限责任公司，注册资本金伍仟万元人民币。主要经营范围包括半导体设备、真空设备、等离子体源组件的研发、生产、销售及技术服务；电子元器件、精密机械零部件的销售；货物及技术进出口业务（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

建设性质

新建

建设地点

江苏省苏州工业园区高端制造与国际贸易区

投资估算及规模

本项目总投资估算为38650.75万元，其中一期工程投资估算为231