CN119839697A 一种陶瓷导纱轮抛光方法 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119839697A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202510258597.8

(22)申请日2025.03.06

(71)申请人苏州芯合半导体材料有限公司

地址215400江苏省苏州市太仓市城厢镇

良辅路16号3号楼2楼

(72)发明人周彪王腾飞

(74)专利代理机构苏州国诚专利代理有限公司

32293

专利代理师卢华强

(51)Int.Cl.

B24B1/00(2006.01)

B24B41/06(2012.01)

B24B47/20(2006.01)

B24B47/22(2006.01)