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CN119828424A 一种掩膜与晶圆的调平方法 .pdfVIP

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  • 2026-05-04 发布于重庆
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CN119828424A 一种掩膜与晶圆的调平方法 .pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119828424A

    (43)申请公布日2025.04.15

    (21)申请号202510254405.6

    (22)申请日2025.03.05

    (71)申请人合肥工业大学

    地址230009安徽省合肥市包河区屯溪路

    193号

    (72)发明人夏豪杰许非凡方青林贺洁

    朱梓旭

    (74)专利代理机构合肥市泽信专利代理事务所

    (普通合伙)34144

    专利代理师方荣肖

    (51)Int.Cl.

    G03F7/20(2006.01)

    权利要求书2页说明书7页附图4页

    (54)发明名称

    一种掩膜与

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