CN110865431A 滤光器、滤光器系统、光谱仪及其制造方法 （瑞士Csem电子显微技术研发中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN110865431A

(43)申请公布日2020.03.06

(21)申请号201910789353.7

(22)申请日2019.08.26

(30)优先权数据42018.08.27EP

(71)申请人瑞士CSEM电子显微技术研发中心地址瑞士纳沙泰尔

(72)发明人B.加利内G.夸兰塔G.巴塞

(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001

代理人唐立陈岚

(51)Int.Cl.

G02B5/20(2006.01)

G02B5/00(2006.01)

G01J3/36(2006.01)

G01J3/02(2006.01)

H01L31/0216(2014.01)

B82Y20/00(2011.01)

权利要求书2页说明书13页附图22页

(54)发明名称

滤光器、滤光器系统、光谱仪及其制造方法

(57)摘要

CN110865431A滤光器、滤光器系统、光谱仪及其制造方法根据本发明的实施例，提供了一种纳米结构化光学波长透射过滤器。滤光器包括图案化基底，在所述图案化基底上布置高折射率介质波导。低折射率介电层布置在高折射率介质波导上，在所述低折射率介电层上布置金属纳米结构的阵列。滤光器的各层具有由基底的图案