1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内外标准规范

CVD法生长定向MoS2及其摩擦纳米发电机应用.pdf

CVD法生长定向MoS2及其摩擦纳米发电机应用.pdf

    摘要

    摘要

    在现代电子器件追求高性能背景下，器件尺寸不断减小。由于硅基材料不断

    接近其理论极限，未来尺寸再减小的空间有限，因此迫切需要厚度薄、性能佳的

    可替代材料。MoS2作为过渡金属硫化物中的典型代表，因具有载流子迁移率高、

    光吸收能力强、带隙可调、比表面积大等优点，在集成电路、电催化析氢、纳米

    器件等领域具有广阔的应用潜力。基于化学气相沉积（CVD）制备MoS2的工艺

    虽较为成熟，但得到的MoS2晶粒大多是

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >