CN120221427A 一种在3d结构中同时监测纵向刻蚀和横向刻蚀的方法 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120221427A

(43)申请公布日2025.06.27

(21)申请号202510274242.8

(22)申请日2025.03.07

(71)申请人格科半导体（上海）有限公司

地址201306上海市浦东新区自由贸易试

验区临港新片区新元南路198号

(72)发明人陈宝卓王海平颜晓强

(74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

公司31323

专利代理师贾慧琴包姝晴

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种在3D结构