《半导体设备用全氟醚橡胶弹性体材料规范》征求意见稿_.docxVIP

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T/CASME

团体标准

T/CASMEXXXX—XXXX

半导体设备用全氟醚橡胶弹性体材料规范

SpecificationforPerfluoroetherRubberforSemiconductorEquipment

(征求意见稿)

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国中小商业企业协会发布

I

T/CASMEXXXX一XXXX

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4产品分类和代号 1

5技术要求 1

6试验方法 2

7检验规则 3

8标志、包装、运输和贮存 4

II

T/CASMEXXXX一XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草