《超精密气浮运动平台》征求意见稿_.docxVIP

ICS39.020CCSJ70

团体标准

T/XXXXXXX—XXXX

超精密气浮运动平台

UltraprecisionAir-bearingmotionplatform

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

江苏省机械行业协会发布

T/XXXXXXX—XXXX

I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4技术要求 1

4.1整机要求 1

4.2平台功能 1

4.3平台性能 2

4.4接口系统 3

5试验方法 4

5.1测试条件 4

5.2测试设备 4

5.3测试准备 5

5.4整机测定 5

5.5结构测定 5

5.6性能测定 5

5.7接口系统测定 8

6检验规则 8

6.1出厂检验 9

6.2可靠性