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AlN薄膜腔声谐振器制备技术的深度剖析与实践研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，无线通信技术已成为现代社会不可或缺的一部分。从早期的模拟通信到如今的5G乃至未来的6G通信，无线通信的发展历程见证了人类对高效、便捷通信的不懈追求。在这个过程中，频率器件作为无线通信系统的核心部件，其性能的优劣直接影响着通信质量、数据传输速率以及系统的稳定性。

传统的频率器件，如微波陶瓷谐振器和表声波（SAW）谐振器，在面对日益增长的通信需求时，逐渐暴露出一些局限性。微波陶瓷谐振器体积较大，难以满足现代通信设备小型化的要求；而SAW谐振器则存在工作频率不高、插入损耗较大以及功率容