CN120065624A 一种适配多重曝光的宽工艺窗口光刻胶及其制备方法和应用 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120065624A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510259381.3C08F230/06(2006.01)

(22)申请日2025.03.06

(71)申请人明贤电子材料科技（南通）有限公司

地址226500江苏省南通市如皋市城南街

道幸福河西路9号10幢210室

(72)发明人陈峰朱建华刘炜

(74)专利代理机构北京信屹山海知识产权代理

事务所(普通合伙)16387

专利代理师贾耀淇

(51)Int.Cl.

G03F7/004(2006.01)

G03F7/20(2006.01)

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