原创力文档- 1
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- 2026-05-06 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119495625A
(43)申请公布日2025.02.21
(21)申请号202411099049.7
(22)申请日2024.08.12
(30)优先权数据
2023-1338722023.08.21JP
(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本
(72)发明人武井利亲
(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277
专利代理师刘新宇李靖
(51)Int.Cl.
H01L21/683(2006.01)
H01L21/67(2006.01)
权利要求书4
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