CN119496475A 一种谐振器调频层的低损伤刻蚀方法 (中国电子科技集团公司第五十五研究所).docxVIP

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  • 2026-05-06 发布于山西
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CN119496475A 一种谐振器调频层的低损伤刻蚀方法 (中国电子科技集团公司第五十五研究所).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119496475A

(43)申请公布日2025.02.21

(21)申请号202411505214.4

(22)申请日2024.10.28

(71)申请人中国电子科技集团公司第五十五研究所

地址210016江苏省南京市秦淮区中山东

路524号

(72)发明人徐涛李昊王雷李小龙

王政焱于博姜理利郁元卫黄旼

(74)专利代理机构南京理工大学专利中心

32203专利代理师王安

(51)Int.Cl.

H03H3/04(2006.01)

H01L21/3065(2

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