CN120261336A 碳化硅晶圆及其制备方法 (上海新傲科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-07 发布于重庆
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CN120261336A 碳化硅晶圆及其制备方法 (上海新傲科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120261336A

(43)申请公布日2025.07.04

(21)申请号202510281456.8

(22)申请日2025.03.11

(71)申请人上海新傲科技股份有限公司

地址201821上海市嘉定区新徕路200号

(72)发明人赵路张俊李炜施荣荣

(74)专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务

所(普通合伙)31294

专利代理师孙佳胤

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图3页

(54)发明名称

碳化硅晶圆及其制备方法

(57)摘要

本发

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