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- 2026-05-07 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120261336A
(43)申请公布日2025.07.04
(21)申请号202510281456.8
(22)申请日2025.03.11
(71)申请人上海新傲科技股份有限公司
地址201821上海市嘉定区新徕路200号
(72)发明人赵路张俊李炜施荣荣
(74)专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务
所(普通合伙)31294
专利代理师孙佳胤
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
权利要求书2页说明书6页附图3页
(54)发明名称
碳化硅晶圆及其制备方法
(57)摘要
本发
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