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- 2026-05-09 发布于浙江
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《GB/T43315-2023硅片流动图形缺陷的检测腐蚀
法》练习题试卷
一、单选题(每题2分,共30分)
1.GB/T43315-2023适用于电阻率大于多少的硅片流动图形缺陷的检测?
A.0.5Ω·cm
B.1Ω·cm
C.2Ω·cm
D.5Ω·cm
2.检测流动图形缺陷时,试样经什么腐蚀液腐蚀?
A.氢氧化钾腐蚀液
B.Secco腐蚀液
C.氢氟酸腐蚀液
D.硝酸腐蚀液
3.腐蚀液与硅反应产生什么气体?
A.氧气
B.氢气
C.氮气
D.氯气
4.流动
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