《GBT 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法》练习题试卷及参考答案.pdfVIP

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  • 2026-05-09 发布于浙江
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《GBT 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法》练习题试卷及参考答案.pdf

《GB/T43315-2023硅片流动图形缺陷的检测腐蚀

法》练习题试卷

一、单选题(每题2分,共30分)

1.GB/T43315-2023适用于电阻率大于多少的硅片流动图形缺陷的检测?

A.0.5Ω·cm

B.1Ω·cm

C.2Ω·cm

D.5Ω·cm

2.检测流动图形缺陷时,试样经什么腐蚀液腐蚀?

A.氢氧化钾腐蚀液

B.Secco腐蚀液

C.氢氟酸腐蚀液

D.硝酸腐蚀液

3.腐蚀液与硅反应产生什么气体?

A.氧气

B.氢气

C.氮气

D.氯气

4.流动

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