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亚纳米级图形化工艺中的缺陷抑制与装备协同优化

目录

一、亚纳米级图形化制程缺陷机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1亚纳米尺度图形化过程关键缺陷源识别．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2形貌演化与失效模式控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3清洁制造环境影响分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

二、图形化精度控制技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1超精密加工误差补偿策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．