2026年新大型半导体设备安全员考试题库及答案
1.单项选择题(每题1分,共30分)
1.1在SEMIS2《半导体制造设备安全卫生与环境要求》中,对“危险能量控制”最核心的要求是
A.设备必须配置UPS
B.能量隔离后须上锁挂牌
C.使用防爆照明
D.接地电阻≤0.1Ω
答案:B
1.2依据GB5226.1—2019,对急停回路的安全等级最低应满足
A.PLa
B.PLc
C.PLe
C.SIL1
答案:B
1.3当晶圆传送机械手处于“示教”模式时,下列做法符合SEMIS8《人机接口标准》的是
A.关闭所有安全门开关
B.降低机器人速度并启用使能开关
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