原创力文档摘要
压电泵作为微小型泵类的一种，具有体积小、结构简单、造价低、便于批量
生产等优点，被广泛应用于生物医疗、化学试剂分析、燃料输送以及印刷喷墨系
统等领域。在上述领域的一些精密流体输送系统中需要对压电泵输出流体精度进
行控制，但需要额外添加传感器对输出流量进行实时检测与控制，造成系统体积
过大、较为复杂，也使得系统整体成本较高。同时压电泵输出能力有限也会对系
统性能造成影响。基于上述问题，本文提出采用圆形双晶压电振子在作为驱动元
件的同时也作为传感元件，取代精密流体输送系统中需额外添加的传感器，开展
文档评论（0）