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CN119511634A 一种光刻胶组合物改性方法 （湖北三峡实验室）.docxVIP

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  • 2026-05-08 发布于山西
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CN119511634A 一种光刻胶组合物改性方法 （湖北三峡实验室）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119511634A

    (43)申请公布日2025.02.25

    (21)申请号202411470286.X

    (22)申请日2024.10.21

    (71)申请人湖北三峡实验室

    地址443007湖北省宜昌市猇亭区马鬃岭

    路1号

    (72)发明人李欣池汝安李少平马会娟韩庆文匡步肖周钢翔吴翔粟鹏胡聪周悦尔

    (74)专利代理机构宜昌市三峡专利事务所42103

    专利代理师蒋悦

    (51)Int.Cl.

    G03F7/004(2006.01)

    G03F7/20(200

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