材料分析方法第八章电子显微镜与电子探针显微分析.pptVIP

第八章扫描电子显微镜与电子;引言SEM用于材料分析的特点;第一节电子束与固体样品相互作;一、二次电子（secondar;二次电子的特点：①能量较低；;③主要用于形貌观察；这是因为;二、背散射电子（BSE）背;背散射电子的特点：①分析用的;②背散射电子像的分辨率低于二;③不仅能分析形貌特征，也可用;三、吸收电子（AE）高能电;假如入射电子束照射一个足够厚度;吸收电子的产额同背散射电子一样;四、特征X射线特征X射线：原;具体来说，如在高能入射电子作用;②特征X射线是从试样0.5～;五、俄歇电子（Augerel;俄歇电子的特点：①带有元素原;③用于分析的俄歇电子主要来自;六、透射电子（transmis;七、其它物理信号除了上述六种信;第二节扫描电子显微镜的结构;一、扫描电镜的工作原理工作过程;成像方式：逐点成像由于扫描线圈;二、扫描电镜的结构扫描电镜的组;1、电子光学系统对扫描电子束的;(1)电子枪作用：提供一个连续;(2)电磁透镜作用：把电子枪的;(3)扫描线圈作用：使电子束偏;(4)样品室特点：①样品室的;2．信号收集和显示系统作用：;对于不同种类的物理信号要用不同;检测SE时，栅网上加250~5;三、扫描电镜的主要性能1．放大;1．放大倍数扫描电镜的放大倍率;2．分辨率（resolutio;高能电子入射样品，产生散射，使;（3）成像所用信